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联合和打造“材料物理”实验室
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杭州大华与中国科学院材料物理重点实验室、兰州大学联合打造“材料物理”实验室,为各高校提供个性化或标准化的整体实验室建设方案。 建设理念:材料制备的方法多,可制备材料的种类多;可进行材料检测与分析研究;能兼顾科研与教学需要;设备系列化、配套化,经济实用,性价比高;提供完善的售后服务,开展设备使用培训和经验交流活动。 可开设的实验项目:
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◆真空蒸镀 应用设备:多功能真空实验仪、真空镀膜机、电子束蒸发镀膜装置 实验内容:掌握饱和蒸汽压、蒸发温度的概念,真空镀膜的原理及基本过程,饱和蒸汽压、蒸发速度、薄膜纯度以及合金蒸发的公式;电子束蒸发的原理及特点,微量天平法、石英晶振法、等厚干涉条纹法测量膜厚的原理。
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◆溅射镀膜 应用设备:直流磁控溅射镀膜实验装置、射频磁控溅射镀膜装置、 多靶磁控溅射镀膜机 实验内容:掌握溅射、溅射率的概念,溅射的级联碰撞理论,磁控溅、射频溅射的原理及特点,理解 溅射的作用及用途。
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◆化学气相沉积制备功能薄膜 应用设备:射频CCP薄膜沉积装置、射频ICP薄膜沉积装置 实验内容:掌握CVD、PECVD的基本概念,CVD的成膜过程及要求,化学输运反应的原理,等离子 体CVD的原理、特点及等离子体的激励方式。 |
◆气相传输法、溶液法、电弧熔炼法制备多种功能材料 应用设备:气氛热处理程控高温炉、单晶炉、钨电极电弧真空熔炼炉 实验内容:气相传输法材料合成及制备纳米材料;溶液法制备薄膜,如制备庞磁电阻薄膜、金属硅化物、合金和金属间化合物等多晶体、金属氧化物类单晶、非氧化物单晶、制备氧化物高温超导体;制备多层薄膜,特别是多元氧化物功能材料的薄膜。
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◆功能材料的评价表征及物性测定 应用设备:功能薄膜特性测试仪、显微硬度仪、膜厚测量仪、分光光度计、扫描探针显微镜等 实验内容:功能材料的表征:表面形貌,结晶状态和晶体结构,微观组织和结构,元素分析等。功能材料的特性测定:膜厚、密度、硬度等力学特性,电阻率、电导率、温度特性等常规特性,光学特性等。 |
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