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| 联合打造“等离子体技术应用”实验室 |
针对专业和专业基础实验教学的需要，杭州大华与武汉工程大学等离子体重点实验室联合为高校提供专业实验室建设方案（包括实验室规划、设备建设、实验项目、课时开设等）。该方案强化了等离子体技术的实践训练，以改善国内等离子体技术研究和教学落后于等离子体技术工程应用的状况，满足现代产业对等离子体技术的相关人才的社会需求。
运用各种不同功能的等离子体科研实验设备开设四大方面的实验项目： |
◆开设等离子体原理实验项目
应用设备：等离子体诊断实验仪、直流辉光等离子体实验装置
实验内容：直流辉光等离子体现象观察、直流等离子体伏安曲线的测量、等离子体电子温度、浓度的测 量。研究放电参数与等离子体的电子参数的关系，完成等离子体电子温度和浓度的测量实 验。气体击穿电压的测量研究、帕邢定律的验证、第一电离系数的测量、不同气体的放电特性的研究。
◆开设等离子体在新材料领域中的应用实验项目
应用设备：多功能微波等离子体装置、直流等离子体溅射装置
实验内容：等离子体化学气相沉积制备功能薄膜材料、纳米材料的制备、金属材料的表面氮化、碳化； 等离子体光谱分析；光学薄膜材料的制备及其光学特性的测量、金属薄膜的制备、陶瓷薄 膜的制备。
◆开设等离子体在微电子领域的应用实验项目
应用设备：射频等离子体实验装置、电子回旋共振等离子体装置、电子束蒸发镀膜装置
实验内容：开设等离子体在微电子加工应用的实验、等离子体在光学膜系制备的实验等。如材料的表面改性、等离子体刻蚀加工、等离子体清洗、消毒、灭菌
◆开设等离子体在环境、能源领域的应用实验项目
应用设备：常压微波等离子体实验装置、电晕等离子体装置
实验内容：等离子体在工业废气、废水处理中的应用实验、等离子体清洗、等离子体表面处理实验；等离子体消毒、灭菌、磁流体发电。 |
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